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半导体制造行业对精度、速度以及洁净度要求非常高。由于空气轴承具有重复性好、速度高、刚度大、零摩擦、零振动与低噪音等特点,所以非常适合用于半导体制造领域。一般空气轴承可以用在晶片切割、晶片检测、晶片修复等方面。 查看全文

应客户要求,公司先开展国内外各种空气轴承划片机、减薄机、内圆切割锯等设备空气轴承以及气浮主轴维修服务。目前,公司已经成功的进行Meyerburgerwaferingsaw(梅耶博格内圆锯)以及三菱内圆锯空气轴承的维修及其设备数控改造。我公司成功的维修了Disco气浮主轴、东京精密TSK气浮主轴、以色列ADT气浮主轴、英国Loadpoint气浮主轴以及国内各种…… 查看全文

静压空气轴承是一种利用外部供压形成气膜,靠气膜润滑的一种新型轴承,具有摩擦小、回转精度高、转速高和无磨损等优点。由于气膜间隙一般为5μm左右,因而空气轴承的尺寸精度、几何精度和光洁度均要求比较非常高,其加工精度要达到微米乃至亚微米级,加工难度极大。球面空气轴承由于能够同时承受轴向力和径向力,并且可以实现高精度的偏摆,因此表现出功能上和结构上的特殊优点。为了提…… 查看全文

空气轴承是一种以一定压力的空气充满轴与轴套之间,使轴与轴套之间形成气膜,从而产生非接触运动的机械构件。空气轴承有如下特点:1、由于气体的粘性非常小,所以其运行摩擦阻力也很小。2、由于没有摩擦,即没有磨损。因此,精度保持性好、发热小,能耗低,效率高。3、空气轴承结构简单,但是加工困难,加工周期较长。对于一般的旋转空气轴承而言高度较大,而且轴上没有通孔。但是,对…… 查看全文

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